热超声倒装键合机视觉定位系统的设计与实现
所属分类:技术论文
上传者:aet
文档大小:2405 K
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文档介绍:通过对芯片热超声倒装键合工艺过程的研究,结合国内外热超声倒装键合设备发展的现状,研制了一台用于芯片的热超声倒装键合机。
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